本發(fā)明涉及光刻設(shè)備，特別涉及一種硅片投影步進(jìn)式曲面鏡投影光刻光路結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)：
1、在對(duì)硅片表面進(jìn)行線路光刻時(shí)，一般不同的設(shè)備的光源都為汞燈，使用時(shí)間較短；光刻設(shè)備型體大，結(jié)構(gòu)復(fù)雜，成本高，一般都為較大新公司購(gòu)入。對(duì)于較小的企業(yè)或者研發(fā)機(jī)構(gòu)采購(gòu)設(shè)備時(shí)，需要大量的資金和大面積的高要求場(chǎng)地，對(duì)于成本壓力比較大，且使用頻次較低，故現(xiàn)有的光刻設(shè)備對(duì)于較小的企業(yè)或者研發(fā)機(jī)構(gòu)不是很適用。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、本發(fā)明提供一種硅片投影步進(jìn)式曲面鏡投影光刻光路結(jié)構(gòu)，解決現(xiàn)有光刻設(shè)備型體大，結(jié)構(gòu)復(fù)雜，成本高的技術(shù)問題。
2、本發(fā)明解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是：一種硅片投影步進(jìn)式曲面鏡投影光刻光路結(jié)構(gòu)，包括依次對(duì)應(yīng)設(shè)置的uv-led多燈光源模、復(fù)眼前準(zhǔn)直透鏡組、均光模組和反射鏡組件，所述反射鏡組件反射光線方向設(shè)置有曲面鏡，所述曲面鏡反射光線方向依次設(shè)置有掩膜、倍率鏡組件和光刻工作臺(tái)，所述光刻工作臺(tái)上設(shè)置有用于固定硅片的硅片固定結(jié)構(gòu)。結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)，單精度高，適用性強(qiáng)，成本低，可以有效滿足小企業(yè)或者研發(fā)機(jī)構(gòu)使用。
3、進(jìn)一步的是：所述復(fù)眼前準(zhǔn)直透鏡組包括至少兩個(gè)同軸且同向設(shè)置的復(fù)眼前準(zhǔn)直透鏡。有效將uv-led多燈光源模發(fā)出的光線聚焦為平行光線傳播到均光模組上，精度高。
4、進(jìn)一步的是：所述均光模組包括同軸設(shè)置的微柱面鏡陣列和聚光鏡，所述微柱面鏡陣列位于靠近復(fù)眼前準(zhǔn)直透鏡組一側(cè)。光線經(jīng)過均光模組后變?yōu)橛邪l(fā)散角度的均勻光斑，變?yōu)樗璧木鶆蚬鈭?chǎng)分布。
5、進(jìn)一步的是：所述光刻工作臺(tái)為可位移透明光刻工作臺(tái)。結(jié)構(gòu)可根據(jù)實(shí)際情況調(diào)整，適用性更強(qiáng)。
6、進(jìn)一步的是：所述倍率鏡組件為顯微鏡組?？纱蠓冉档统杀?。
7、進(jìn)一步的是：所述uv-led多燈光源模上設(shè)置有切換驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、位于切換驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)上由其驅(qū)動(dòng)的多個(gè)燈源固定結(jié)構(gòu)和多個(gè)分別設(shè)置在多個(gè)燈源固定結(jié)構(gòu)上的uv-led燈源。多個(gè)uv-led燈源的固定位置可以互換，適用性更好。
8、進(jìn)一步的是：所述光刻工作臺(tái)上設(shè)置有驅(qū)動(dòng)硅片固定結(jié)構(gòu)朝向倍率鏡組件方向的移動(dòng)和垂直倍率鏡組件軸線方向移動(dòng)的手動(dòng)調(diào)整機(jī)構(gòu)，所述手動(dòng)調(diào)整機(jī)構(gòu)上設(shè)置有驅(qū)動(dòng)硅片固定結(jié)構(gòu)朝向倍率鏡組件方向的移動(dòng)和垂直倍率鏡組件軸線方向移動(dòng)的自動(dòng)化調(diào)整驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述自動(dòng)化調(diào)整驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)相連有工作臺(tái)控制模組并由工作臺(tái)控制模組控制運(yùn)動(dòng)。手動(dòng)調(diào)整機(jī)構(gòu)和自動(dòng)化調(diào)整驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)可以配合使用，也可以單獨(dú)分別使用，精度高，適用性強(qiáng)。
9、進(jìn)一步的是：所述倍率鏡組件包括位于多個(gè)依次設(shè)置在同一軸線上的第一透鏡、第二透鏡、第三透鏡、第四透鏡、第五透鏡、第六透鏡和第七透鏡，所述第三透鏡、第四透鏡和第五透鏡都為雙面凸出透鏡，所述第一透鏡和第二透鏡都為單面凸出透鏡且第一透鏡和第二透鏡相對(duì)應(yīng)的一面凸出，所述第六透鏡和第七透鏡都為單面凸出透鏡且第一透鏡和第二透鏡相對(duì)應(yīng)的一面凸出。結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，達(dá)到倍率縮小效果，在保證精度的同時(shí)成本較低。
1.一種硅片投影步進(jìn)式曲面鏡投影光刻光路結(jié)構(gòu)，其特征在于：包括依次對(duì)應(yīng)設(shè)置的uv-led多燈光源模(100)、復(fù)眼前準(zhǔn)直透鏡組(200)、均光模組(300)和反射鏡組件(400)，所述反射鏡組件(400)反射光線方向設(shè)置有曲面鏡(500)，所述曲面鏡(500)反射光線方向依次設(shè)置有掩膜(600)、倍率鏡組件(700)和光刻工作臺(tái)(800)，所述光刻工作臺(tái)(800)上設(shè)置有用于固定硅片的硅片固定結(jié)構(gòu)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片投影步進(jìn)式曲面鏡投影光刻光路結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述復(fù)眼前準(zhǔn)直透鏡組(200)包括至少兩個(gè)同軸且同向設(shè)置的復(fù)眼前準(zhǔn)直透鏡。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片投影步進(jìn)式曲面鏡投影光刻光路結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述均光模組(300)包括同軸設(shè)置的微柱面鏡陣列和聚光鏡，所述微柱面鏡陣列位于靠近復(fù)眼前準(zhǔn)直透鏡組(200)一側(cè)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片投影步進(jìn)式曲面鏡投影光刻光路結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述光刻工作臺(tái)(800)為可位移透明光刻工作臺(tái)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片投影步進(jìn)式曲面鏡投影光刻光路結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述倍率鏡組件(700)為顯微鏡組。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片投影步進(jìn)式曲面鏡投影光刻光路結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述uv-led多燈光源模(100)上設(shè)置有切換驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、位于切換驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)上由其驅(qū)動(dòng)的多個(gè)燈源固定結(jié)構(gòu)和多個(gè)分別設(shè)置在多個(gè)燈源固定結(jié)構(gòu)上的uv-led燈源。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片投影步進(jìn)式曲面鏡投影光刻光路結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述光刻工作臺(tái)(800)上設(shè)置有驅(qū)動(dòng)硅片固定結(jié)構(gòu)朝向倍率鏡組件(700)方向的移動(dòng)和垂直倍率鏡組件(700)軸線方向移動(dòng)的手動(dòng)調(diào)整機(jī)構(gòu)，所述手動(dòng)調(diào)整機(jī)構(gòu)上設(shè)置有驅(qū)動(dòng)硅片固定結(jié)構(gòu)朝向倍率鏡組件(700)方向的移動(dòng)和垂直倍率鏡組件(700)軸線方向移動(dòng)的自動(dòng)化調(diào)整驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述自動(dòng)化調(diào)整驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)相連有工作臺(tái)控制模組并由工作臺(tái)控制模組控制運(yùn)動(dòng)。
8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種硅片投影步進(jìn)式曲面鏡投影光刻光路結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述倍率鏡組件(700)包括位于多個(gè)依次設(shè)置在同一軸線上的第一透鏡、第二透鏡、第三透鏡、第四透鏡、第五透鏡、第六透鏡和第七透鏡，所述第三透鏡、第四透鏡和第五透鏡都為雙面凸出透鏡，所述第一透鏡和第二透鏡都為單面凸出透鏡且第一透鏡和第二透鏡相對(duì)應(yīng)的一面凸出，所述第六透鏡和第七透鏡都為單面凸出透鏡且第一透鏡和第二透鏡相對(duì)應(yīng)的一面凸出。