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一種片上交叉光波導(dǎo)的設(shè)計(jì)方法及片上交叉光波導(dǎo)

文檔序號:42591059發(fā)布日期:2025-07-29 17:43閱讀:11來源:國知局

本發(fā)明涉及集成光子學(xué),特別涉及一種片上交叉光波導(dǎo)的設(shè)計(jì)方法及片上交叉光波導(dǎo)。


背景技術(shù):

1、隨著信息技術(shù)的快速發(fā)展,光子集成芯片因其在高速數(shù)據(jù)傳輸、低功耗運(yùn)算以及高集成度等方面的顯著優(yōu)勢,正成為下一代光通信、光計(jì)算和光傳感等領(lǐng)域的重要支撐技術(shù)。相比傳統(tǒng)電子芯片,光子集成芯片利用光信號進(jìn)行信息傳輸和處理,能夠有效降低能耗,同時(shí)提升數(shù)據(jù)傳輸速率和帶寬。因此,高度集成、高效能的光子器件設(shè)計(jì)是推動(dòng)光子集成芯片發(fā)展的關(guān)鍵,其中,光波導(dǎo)的高密度互連技術(shù)尤為重要。

2、在光子集成芯片內(nèi)部,不同功能單元之間需要通過光波導(dǎo)進(jìn)行信號傳輸,而在復(fù)雜光路設(shè)計(jì)中,多個(gè)光信號通道往往需要相互交叉,以實(shí)現(xiàn)更緊湊的布局和更高效的光路設(shè)計(jì)。因此,交叉光波導(dǎo)作為一種核心結(jié)構(gòu),在片上光互連中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。理想的交叉光波導(dǎo)需要具備緊湊的尺寸、高透過率和寬帶特性,以滿足高密度光子集成的需求。然而,現(xiàn)有的交叉光波導(dǎo)設(shè)計(jì)仍然存在諸多限制,難以同時(shí)兼顧高集成度與制造工藝的可行性。

3、目前,常見的交叉光波導(dǎo)結(jié)構(gòu)主要包括十字交叉方案,該方案通常采用兩根直波導(dǎo)通過中間擴(kuò)展部分直接交叉,或通過反向設(shè)計(jì)優(yōu)化交叉區(qū)域的結(jié)構(gòu)。具體而言,最簡單的方式是讓兩根直波導(dǎo)直接交叉,并對形成的“十字”結(jié)構(gòu)進(jìn)行參數(shù)設(shè)計(jì),通常需要10微米乘10微米的結(jié)構(gòu)區(qū)域。這種方式的優(yōu)點(diǎn)是設(shè)計(jì)簡單、加工工藝成熟,并且能夠?qū)崿F(xiàn)較低的損耗和寬帶特性。然而,由于該結(jié)構(gòu)的交叉角度為90度,其占用面積較大,不利于高密度集成;此外,通過反向設(shè)計(jì)優(yōu)化交叉區(qū)域結(jié)構(gòu)的交叉光波導(dǎo),雖然尺寸略有減少,大約為4微米乘4微米的區(qū)域,但交叉角度依舊為90度,也很難做到高密度集成。

4、為了減少交叉光波導(dǎo)的尺寸占用,提高光子集成芯片的集成度,一些設(shè)計(jì)方案嘗試通過減少交叉角度來實(shí)現(xiàn)更緊湊的布局。然而,在小角度交叉條件下,光信號的模式匹配問題變得更加復(fù)雜,容易引入額外的模式耦合效應(yīng),影響器件的整體性能。因此,在部分應(yīng)用場景下,三維光路互連集成芯片方案也被提出,以利用不同的波導(dǎo)層(如硅-二氧化硅-硅的“三明治”結(jié)構(gòu))或者光子晶體結(jié)構(gòu)等,實(shí)現(xiàn)空間上的光信號分隔,從而避免波導(dǎo)交叉的需求。然而,三維光波導(dǎo)加工涉及復(fù)雜的層疊結(jié)構(gòu),制造成本高昂,并且對工藝精度要求極高,難以在大規(guī)模生產(chǎn)中普及。

5、綜上所述,現(xiàn)有交叉光波導(dǎo)技術(shù)主要存在以下不足:

6、1.占用面積較大:傳統(tǒng)十字交叉波導(dǎo)由于交叉角度較大,限制了高密度集成的可行性。

7、2.小角度交叉設(shè)計(jì)復(fù)雜:當(dāng)交叉角度較小時(shí),波導(dǎo)間的模式匹配和耦合問題變得更加顯著,影響器件的穩(wěn)定性。

8、3.三維加工難度大:雖然三維光路設(shè)計(jì)能夠避免波導(dǎo)交叉,但其制造工藝復(fù)雜,成本較高,難以滿足大規(guī)模制造需求。


技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本發(fā)明的目的在于提供一種片上交叉光波導(dǎo)的設(shè)計(jì)方法及片上交叉光波導(dǎo),可以解決現(xiàn)有交叉光波導(dǎo)占用面積較大、小角度交叉設(shè)計(jì)復(fù)雜以及三維加工難度大的問題。

2、為解決上述技術(shù)問題,本發(fā)明的實(shí)施例提供了一種片上交叉光波導(dǎo)的設(shè)計(jì)方法,包括以下步驟:

3、將兩根直波導(dǎo)交叉,形成交叉角度小于90度的交叉光波導(dǎo);

4、對交叉光波導(dǎo)的交叉區(qū)域進(jìn)行初步設(shè)計(jì),使交叉區(qū)域的初始結(jié)構(gòu)參數(shù)小于4微米乘4微米;

5、采用粒子群優(yōu)化算法,對交叉區(qū)域的初始結(jié)構(gòu)參數(shù)進(jìn)行優(yōu)化,以改變交叉區(qū)域內(nèi)的材料折射率分布,獲取交叉光波導(dǎo)的光透過率最大且交叉區(qū)域的結(jié)構(gòu)滿足上下左右對稱結(jié)構(gòu)時(shí)交叉區(qū)域內(nèi)的材料折射率分布,并將對應(yīng)的交叉區(qū)域的結(jié)構(gòu)參數(shù)作為交叉區(qū)域的目標(biāo)結(jié)構(gòu)參數(shù);

6、以目標(biāo)結(jié)構(gòu)參數(shù)再次設(shè)計(jì)交叉光波導(dǎo)的交叉區(qū)域。

7、可選的,所述粒子群優(yōu)化算法的目標(biāo)函數(shù)以交叉光波導(dǎo)的光透過率最大為目標(biāo)建立得到;

8、所述目標(biāo)結(jié)構(gòu)參數(shù)通過以下步驟獲得:

9、s1、初始化粒子群:在初步設(shè)計(jì)的交叉區(qū)域內(nèi),隨機(jī)生成若干個(gè)初始粒子,每個(gè)粒子代表一種可能的材料折射分布,每種材料折射分布對應(yīng)一個(gè)結(jié)構(gòu)參數(shù);

10、s2、計(jì)算光透過率:計(jì)算每種材料折射分布下交叉波導(dǎo)的光透過率,并根據(jù)目標(biāo)函數(shù)評估優(yōu)化度;

11、s3、更新粒子速度和位置:使每個(gè)粒子根據(jù)自身的局部最優(yōu)解以及整個(gè)粒子群的全局最優(yōu)解進(jìn)行位置調(diào)整,以朝向最優(yōu)解收斂;

12、s4、迭代優(yōu)化:重復(fù)步驟s2和s3,直到滿足收斂條件,得到最優(yōu)解,收斂條件為透過率達(dá)到預(yù)設(shè)百分比或迭代次數(shù)達(dá)到預(yù)設(shè)次數(shù);

13、s5、根據(jù)最優(yōu)解獲取目標(biāo)結(jié)構(gòu)參數(shù)。

14、可選的,所述交叉光波導(dǎo)的交叉角度為20°。

15、可選的,所述交叉區(qū)域的初始結(jié)構(gòu)參數(shù)為2微米乘2微米。

16、可選的,所述目標(biāo)結(jié)構(gòu)參數(shù)為2微米×1.45微米。

17、可選的,所述以目標(biāo)結(jié)構(gòu)參數(shù)再次設(shè)計(jì)交叉光波導(dǎo)的交叉區(qū)域,包括:

18、將目標(biāo)結(jié)構(gòu)參數(shù)的交叉區(qū)域內(nèi)納米級的特征區(qū)域替換為矩形單元,并將矩形單元的長度固定為2微米,使寬度在20納米~30納米范圍內(nèi)變化;

19、其中,納米級的特征區(qū)域?yàn)榻徊鎱^(qū)域內(nèi)線寬小于10納米的區(qū)域。

20、可選的,所述交叉光波導(dǎo)的波長為1550納米時(shí),所述預(yù)設(shè)百分比取值95%。

21、本發(fā)明的實(shí)施例還提供了一種片上交叉光波導(dǎo),所述片上交叉光波導(dǎo)通過如上述的片上交叉光波導(dǎo)的設(shè)計(jì)方法設(shè)計(jì)得到。

22、本發(fā)明所提供的片上交叉光波導(dǎo)的設(shè)計(jì)方法,至少具有以下有益效果:

23、通過將兩根直波導(dǎo)交叉,形成交叉角度小于90度的交叉光波導(dǎo),并對交叉光波導(dǎo)的交叉區(qū)域進(jìn)行初步設(shè)計(jì),使交叉區(qū)域的初始結(jié)構(gòu)參數(shù)小于4微米乘4微米,實(shí)現(xiàn)了小角度交叉設(shè)計(jì),保持緊湊的器件尺寸,有助于提升光子集成芯片的整體集成度;然后通過粒子群優(yōu)化算法,對交叉區(qū)域的結(jié)構(gòu)參數(shù)進(jìn)行優(yōu)化,以改變交叉區(qū)域內(nèi)的材料折射率分布,獲取交叉光波導(dǎo)的光透過率最大且交叉區(qū)域的結(jié)構(gòu)滿足上下左右對稱結(jié)構(gòu)時(shí)交叉區(qū)域內(nèi)的材料折射率分布,并將對應(yīng)的交叉區(qū)域的結(jié)構(gòu)參數(shù)作為交叉區(qū)域最終的目標(biāo)結(jié)構(gòu)參數(shù),基于此,來完成交叉光波導(dǎo)交叉區(qū)域的設(shè)計(jì),優(yōu)化了交叉區(qū)域的光場分布,從而可以減少模式失配效應(yīng),提高光信號的傳輸穩(wěn)定性,無需引入額外的三維加工步驟,降低了制造復(fù)雜性和成本。



技術(shù)特征:

1.一種片上交叉光波導(dǎo)的設(shè)計(jì)方法,其特征在于,所述方法包括:

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的片上交叉光波導(dǎo)的設(shè)計(jì)方法,其特征在于,所述粒子群優(yōu)化算法的目標(biāo)函數(shù)以交叉光波導(dǎo)的光透過率最大為目標(biāo)建立得到;

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的片上交叉光波導(dǎo)的設(shè)計(jì)方法,其特征在于,所述交叉光波導(dǎo)的交叉角度為20°。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的片上交叉光波導(dǎo)的設(shè)計(jì)方法,其特征在于,所述交叉區(qū)域的初始結(jié)構(gòu)參數(shù)為2微米乘2微米。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的片上交叉光波導(dǎo)的設(shè)計(jì)方法,其特征在于,所述目標(biāo)結(jié)構(gòu)參數(shù)為2微米×1.45微米。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的片上交叉光波導(dǎo)的設(shè)計(jì)方法,其特征在于,所述以目標(biāo)結(jié)構(gòu)參數(shù)再次設(shè)計(jì)交叉光波導(dǎo)的交叉區(qū)域,包括:

7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的片上交叉光波導(dǎo)的設(shè)計(jì)方法,其特征在于,所述交叉光波導(dǎo)的波長為1550納米時(shí),所述預(yù)設(shè)百分比取值95%。

8.一種片上交叉光波導(dǎo),其特征在于,所述片上交叉光波導(dǎo)通過如權(quán)利要求1至7中任一項(xiàng)所述的片上交叉光波導(dǎo)的設(shè)計(jì)方法設(shè)計(jì)得到。


技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及集成光子學(xué)技術(shù)領(lǐng)域,特別涉及一種片上交叉光波導(dǎo)的設(shè)計(jì)方法及片上交叉光波導(dǎo)。該方法包括:將兩根直波導(dǎo)交叉,形成交叉角度小于90度的交叉光波導(dǎo);對交叉光波導(dǎo)的交叉區(qū)域進(jìn)行初步設(shè)計(jì),使交叉區(qū)域的初始結(jié)構(gòu)參數(shù)小于4微米乘4微米;采用粒子群優(yōu)化算法,對交叉區(qū)域的初始結(jié)構(gòu)參數(shù)進(jìn)行優(yōu)化,以改變交叉區(qū)域內(nèi)的材料折射率分布,獲取交叉光波導(dǎo)的光透過率最大且交叉區(qū)域的結(jié)構(gòu)滿足上下左右對稱結(jié)構(gòu)時(shí)交叉區(qū)域內(nèi)的材料折射率分布,并將對應(yīng)的交叉區(qū)域的結(jié)構(gòu)參數(shù)作為交叉區(qū)域的目標(biāo)結(jié)構(gòu)參數(shù);以目標(biāo)結(jié)構(gòu)參數(shù)再次設(shè)計(jì)交叉光波導(dǎo)的交叉區(qū)域,以解決交叉光波導(dǎo)占用面積較大、小角度交叉設(shè)計(jì)復(fù)雜以及三維加工難度大的問題。

技術(shù)研發(fā)人員:閆秋辰,馬睿
受保護(hù)的技術(shù)使用者:北京大學(xué)
技術(shù)研發(fā)日:
技術(shù)公布日:2025/7/28
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