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一種PCB印刷電路板曝光顯影方法、裝置及系統(tǒng)與流程

文檔序號:42590712發(fā)布日期:2025-07-29 17:42閱讀:9來源:國知局

本發(fā)明涉及印刷電路,具體涉及一種pcb印刷電路板曝光顯影方法、裝置及系統(tǒng)。


背景技術(shù):

1、在印刷電路板(printed?circuit?board,pcb)的制造體系中,曝光工藝為一項技術(shù)密集且至關(guān)重要的環(huán)節(jié)。它猶如精密的雕刻師,直接雕琢出電路板線路圖案的毫厘精度與卓越品質(zhì),而這些細微之處,正是決定電子產(chǎn)品性能優(yōu)劣的關(guān)鍵因素。對于pcb制造商而言,掌握精準且高效的曝光技術(shù),無疑是在激烈的市場競爭中穩(wěn)操勝券的核心法寶。

2、現(xiàn)行的曝光技術(shù),主要依賴光照強度與曝光時長的線性關(guān)聯(lián)模型來設定曝光工藝中的曝光時間參數(shù)。

3、然而,該方法中曝光時間參數(shù)設置準確性較低,容易導致出現(xiàn)過曝或欠曝的現(xiàn)象,導致pcb印刷電路板的制造質(zhì)量較差。


技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本發(fā)明實施例提供了一種pcb印刷電路板曝光顯影方法、裝置及系統(tǒng),能夠改善pcb印刷電路板的制造質(zhì)量。

2、本發(fā)明實施例的第一方面,提供一種pcb印刷電路板曝光顯影方法,包括:

3、獲取待處理pcb印刷電路板的各單元區(qū)域在曝光過程中的目標光強數(shù)據(jù)與目標溫度數(shù)據(jù),目標光強數(shù)據(jù)包括光線到達單元區(qū)域表面時的基板表面光強與單元區(qū)域的曝光光強;

4、基于各基板表面光強與各目標溫度數(shù)據(jù),分別確定各單元區(qū)域的過程穩(wěn)定參數(shù),過程穩(wěn)定參數(shù)用于表征單元區(qū)域在曝光過程中的穩(wěn)定情況;

5、基于各單元區(qū)域在各個時刻下的曝光光強,分別確定各單元區(qū)域的累積曝光劑量;

6、基于各單元區(qū)域的過程穩(wěn)定參數(shù)與各單元區(qū)域的累積曝光劑量,分別確定各單元區(qū)域的最優(yōu)曝光時間;

7、對各單元區(qū)域的最優(yōu)曝光時間進行動態(tài)優(yōu)化,直至滿足曝光終止條件的情況下,對待處理pcb印刷電路板進行顯影處理,得到處理后的目標pcb印刷電路板。

8、在一些可能的實現(xiàn)方式中,基于各基板表面光強與各目標溫度數(shù)據(jù),分別確定各單元區(qū)域的過程穩(wěn)定參數(shù),包括:

9、基于各單元區(qū)域的基板表面光強,確定各單元區(qū)域的局部光強衰減系數(shù);

10、利用各單元區(qū)域的局部光強衰減系數(shù),確定各單元區(qū)域的等效曝光劑量;

11、基于目標單元區(qū)域中的線路分布信息,確定目標單元區(qū)域的線路熱量累積系數(shù),線路熱量累積系數(shù)用于表征目標單元區(qū)域在曝光過程中熱量累積的程度,目標單元區(qū)域為任意一個單元區(qū)域;

12、基于目標單元區(qū)域的線路熱量累積系數(shù)、目標溫度數(shù)據(jù)以及各單元區(qū)域的等效曝光劑量,確定目標單元區(qū)域的過程穩(wěn)定參數(shù)。

13、在一些可能的實現(xiàn)方式中,基于各單元區(qū)域的基板表面光強,確定各單元區(qū)域的局部光強衰減系數(shù),包括:

14、獲取光源出口光強與單元區(qū)域的基板表面光強之間的光強差值;

15、利用光強差值以及光源與待處理pcb印刷電路板之間的固定光路距離,確定單元區(qū)域的局部光強衰減系數(shù)。

16、在一些可能的實現(xiàn)方式中,基于目標單元區(qū)域中的線路分布信息,確定目標單元區(qū)域的線路熱量累積系數(shù),包括:

17、獲取目標單元區(qū)域中的線路數(shù)量、拐點數(shù)量以及各線路的線寬與線長;

18、基于各線路的線寬與線長,確定各線路的線路面積;

19、利用目標單元區(qū)域中的線路數(shù)量、拐點數(shù)量以及各線路的線路面積,確定目標單元區(qū)域的線路熱量累積系數(shù)。

20、在一些可能的實現(xiàn)方式中,基于目標單元區(qū)域的線路熱量累積系數(shù)、目標溫度數(shù)據(jù)以及各單元區(qū)域的等效曝光劑量,確定目標單元區(qū)域的過程穩(wěn)定參數(shù),包括:

21、獲取各單元區(qū)域的等效曝光劑量之間的劑量標準差;

22、基于目標單元區(qū)域的目標溫度數(shù)據(jù),確定目標單元區(qū)域的溫度梯度最大值;

23、利用劑量標準差、線路熱量累積系數(shù)以及溫度梯度最大值,確定目標單元區(qū)域的過程穩(wěn)定參數(shù)。

24、在一些可能的實現(xiàn)方式中,基于各單元區(qū)域在各個時刻下的曝光光強,分別確定各單元區(qū)域的累積曝光劑量,包括:

25、對單元區(qū)域在各個時刻下的曝光光強進行積分運算,得到曝光光強積分值;

26、利用單元區(qū)域的曝光光強積分值與局部光強衰減系數(shù),確定單元區(qū)域的累積曝光劑量。

27、在一些可能的實現(xiàn)方式中,基于各單元區(qū)域的過程穩(wěn)定參數(shù)與各單元區(qū)域的累積曝光劑量,分別確定各單元區(qū)域的最優(yōu)曝光時間,包括:

28、基于單元區(qū)域的過程穩(wěn)定參數(shù)與累積曝光劑量,構(gòu)建與單元區(qū)域的曝光時間對應的目標函數(shù);

29、利用與單元區(qū)域的曝光時間對應的目標函數(shù),確定單元區(qū)域的最優(yōu)曝光時間。

30、在一些可能的實現(xiàn)方式中,對各單元區(qū)域的最優(yōu)曝光時間進行動態(tài)優(yōu)化,直至滿足曝光終止條件的情況下,對待處理pcb印刷電路板進行顯影處理,得到處理后的目標pcb印刷電路板,包括:

31、基于各單元區(qū)域的最優(yōu)曝光時間,對待處理pcb印刷電路進行曝光處理,得到候選pcb印刷電路;

32、基于候選pcb印刷電路,確定是否滿足曝光終止條件;

33、在不滿足曝光終止條件的情況下,對各單元區(qū)域的最優(yōu)曝光時間進行動態(tài)優(yōu)化,并返回執(zhí)行基于各單元區(qū)域的最優(yōu)曝光時間,對待處理pcb印刷電路進行曝光處理;

34、在滿足曝光終止條件的情況下,對候選pcb印刷電路進行顯影處理,得到處理后的目標pcb印刷電路板。

35、本發(fā)明實施例的第二方面,提供一種pcb印刷電路板曝光顯影裝置,包括:

36、數(shù)據(jù)獲取模塊,用于獲取待處理pcb印刷電路板的各單元區(qū)域在曝光過程中的目標光強數(shù)據(jù)與目標溫度數(shù)據(jù),目標光強數(shù)據(jù)包括光線到達單元區(qū)域表面時的基板表面光強與單元區(qū)域的曝光光強;

37、數(shù)據(jù)分析模塊,用于基于各基板表面光強與各目標溫度數(shù)據(jù),分別確定各單元區(qū)域的過程穩(wěn)定參數(shù),過程穩(wěn)定參數(shù)用于表征單元區(qū)域在曝光過程中的穩(wěn)定情況;

38、數(shù)據(jù)分析模塊,還用于基于各單元區(qū)域在各個時刻下的曝光光強,分別確定各單元區(qū)域的累積曝光劑量;

39、時間確定模塊,用于基于各單元區(qū)域的過程穩(wěn)定參數(shù)與各單元區(qū)域的累積曝光劑量,分別確定各單元區(qū)域的最優(yōu)曝光時間;

40、電路板處理模塊,用于對各單元區(qū)域的最優(yōu)曝光時間進行動態(tài)優(yōu)化,直至滿足曝光終止條件的情況下,對待處理pcb印刷電路板進行顯影處理,得到處理后的目標pcb印刷電路板。

41、本發(fā)明實施例的第三方面,提供一種pcb印刷電路板曝光顯影系統(tǒng),包括光強傳感器、熱傳感器與處理器:

42、光強傳感器,用于采集待處理pcb印刷電路板的各單元區(qū)域在曝光過程中的目標光強數(shù)據(jù);

43、熱傳感器,用于采集待處理pcb印刷電路板的各單元區(qū)域在曝光過程中的目標溫度數(shù)據(jù);

44、處理器,用于執(zhí)行上述任意一方面提供的pcb印刷電路板曝光顯影方法。

45、本發(fā)明實施例提供的pcb印刷電路板曝光顯影方法中,基于待處理pcb印刷電路板的各單元區(qū)域在曝光過程中的目標光強數(shù)據(jù)與目標溫度數(shù)據(jù),分析各單元區(qū)域在曝光過程中的過程穩(wěn)定參數(shù)與累積曝光劑量;根據(jù)各單元區(qū)域的過程穩(wěn)定參數(shù)與各單元區(qū)域的累積曝光劑量,分別確定各單元區(qū)域的最優(yōu)曝光時間。最后,對各單元區(qū)域的最優(yōu)曝光時間進行實時的動態(tài)優(yōu)化,直至滿足曝光終止條件的情況下,對待處理pcb印刷電路板進行顯影處理,得到處理后的目標pcb印刷電路板。如此,本發(fā)明根據(jù)待處理pcb印刷電路板在曝光過程中的目標光強數(shù)據(jù)與目標溫度數(shù)據(jù),對待處理pcb印刷電路板各單元區(qū)域的最優(yōu)曝光時間進行動態(tài)調(diào)整,直至滿足曝光終止條件。從而能夠避免曝光時間過度或不足對顯影環(huán)節(jié)所造成的影響,能夠改善pcb印刷電路板的制造質(zhì)量。

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