本發(fā)明涉及檢測(cè)領(lǐng)域，特別涉及一種基于多深度探高拍攝的面板檢測(cè)方法及裝置。
背景技術(shù)：
1、在面板module段的aoi(automated?optical?inspection，自動(dòng)光學(xué)檢測(cè))檢測(cè)領(lǐng)域，隨著工藝技術(shù)的更新?lián)Q代，對(duì)于特殊類(lèi)型的缺陷檢出提出了更高精度要求，像原來(lái)的微米級(jí)的缺陷檢出要求，現(xiàn)在升級(jí)為亞微米級(jí)，使得所使用的鏡頭放大倍率越來(lái)越高，相應(yīng)地鏡頭的景深范圍逐步被壓縮。
2、然而，面板表平面很難保證一個(gè)很好的平面度，所以為了保證拍照清晰度，需要對(duì)面板表平面進(jìn)行高度測(cè)定，即面板表面探高，探高的結(jié)果會(huì)引導(dǎo)檢測(cè)探頭(圖像檢測(cè)傳感器)在檢測(cè)過(guò)程中適時(shí)調(diào)整z向高度，以使得探頭能夠?qū)γ姘灞砥矫嫔蠙z測(cè)視場(chǎng)范圍的區(qū)域的對(duì)焦。
3、傳統(tǒng)技術(shù)中，只根據(jù)探頭的檢測(cè)視場(chǎng)范圍的中心點(diǎn)位置的高度信息調(diào)整z向高度或者探頭，這就使得，當(dāng)檢測(cè)視場(chǎng)范圍內(nèi)高度不均勻時(shí)，探頭拍攝的圖像會(huì)出現(xiàn)局部不清晰的情況，影響了面板檢測(cè)的準(zhǔn)確度。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、為解決上述問(wèn)題，本發(fā)明提供一種基于多深度探高拍攝的面板檢測(cè)方法，包括：
2、通過(guò)高度測(cè)量探頭獲取面板表平面上一檢測(cè)視場(chǎng)范圍內(nèi)的采樣點(diǎn)的第一高度信息，所述檢測(cè)視場(chǎng)范圍內(nèi)包含的采樣點(diǎn)數(shù)量為多個(gè)；
3、將所述采樣點(diǎn)按照對(duì)應(yīng)的所述第一高度信息聚類(lèi)得到所述檢測(cè)視場(chǎng)范圍內(nèi)與高度分布相關(guān)的子區(qū)域，一子區(qū)域信息具有第二高度信息；
4、通過(guò)圖像檢測(cè)傳感器對(duì)所述檢測(cè)視場(chǎng)范圍拍照檢測(cè)：
5、根據(jù)所述子區(qū)域各自對(duì)應(yīng)的第二高度信息依次沿所述圖像檢測(cè)傳感器的光軸方向移動(dòng)所述圖像檢測(cè)傳感器和/或調(diào)節(jié)所述圖像檢測(cè)傳感器的拍攝焦距，對(duì)所述檢測(cè)區(qū)域進(jìn)行拍照，得到與所述子區(qū)域?qū)?yīng)的一個(gè)或一個(gè)以上分量圖像；
6、在所述分量圖像中各自取相應(yīng)的子區(qū)域的區(qū)域圖像合并成檢測(cè)區(qū)域圖像以進(jìn)行檢測(cè)。
7、在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述高度測(cè)量探頭為線型高度測(cè)量探頭。
8、在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述根據(jù)所述子區(qū)域各自對(duì)應(yīng)的第二高度信息依次沿所述圖像檢測(cè)傳感器的光軸方向移動(dòng)所述圖像檢測(cè)傳感器和/或調(diào)節(jié)所述圖像檢測(cè)傳感器的拍攝焦距包括：
9、排除掉第二高度信息超出第一閾值范圍的所述子區(qū)域。
10、在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述排除掉第二高度信息超出第一閾值范圍的所述子區(qū)域包括：
11、若所述第二高度信息超出第一閾值范圍的所述子區(qū)域的大小小于第三閾值，判定該子區(qū)域?yàn)槿毕輩^(qū)域。
12、在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述排除掉第二高度信息超出第一閾值范圍的所述子區(qū)域包括：
13、若所述第二高度信息超出第一閾值范圍的所述子區(qū)域的大小大于第三閾值，判定該子區(qū)域?yàn)樘卣鹘Y(jié)構(gòu)區(qū)域。
14、在其中一個(gè)實(shí)施例中，將所述采樣點(diǎn)按照對(duì)應(yīng)的所述第一高度信息聚類(lèi)得到所述檢測(cè)視場(chǎng)范圍內(nèi)與高度分布相關(guān)的子區(qū)域包括：
15、根據(jù)所述圖像檢測(cè)傳感器的成像范圍設(shè)定聚類(lèi)的高度區(qū)間。
16、為解決上述問(wèn)題，本發(fā)明還提供了一種基于多深度探高拍攝的面板檢測(cè)裝置，包括：
17、探高模塊，用于通過(guò)高度測(cè)量探頭獲取面板表平面上一檢測(cè)視場(chǎng)范圍內(nèi)的采樣點(diǎn)的第一高度信息，所述檢測(cè)視場(chǎng)范圍內(nèi)包含的采樣點(diǎn)數(shù)量為多個(gè)；
18、采樣點(diǎn)聚類(lèi)模塊，用于將所述采樣點(diǎn)按照對(duì)應(yīng)的所述第一高度信息聚類(lèi)得到所述檢測(cè)視場(chǎng)范圍內(nèi)與高度分布相關(guān)的子區(qū)域，一子區(qū)域信息具有第二高度信息；
19、分量圖像采集模塊，用于根據(jù)所述子區(qū)域各自對(duì)應(yīng)的第二高度信息依次沿所述圖像檢測(cè)傳感器的光軸方向移動(dòng)所述圖像檢測(cè)傳感器和/或調(diào)節(jié)所述圖像檢測(cè)傳感器的拍攝焦距，對(duì)所述檢測(cè)區(qū)域進(jìn)行拍照，得到與所述子區(qū)域?qū)?yīng)的一個(gè)或一個(gè)以上分量圖像；
20、圖像合并檢測(cè)模塊，用于在所述分量圖像中各自取相應(yīng)的子區(qū)域的區(qū)域圖像合并成檢測(cè)區(qū)域圖像以進(jìn)行檢測(cè)。
21、在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述高度測(cè)量探頭為線型高度測(cè)量探頭。
22、在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述分量圖像采集模塊還用于排除掉第二高度信息超出第一閾值范圍的所述子區(qū)域。
23、在其中一個(gè)實(shí)施例中，分量圖像采集模塊還用于在所述第二高度信息超出第一閾值范圍的所述子區(qū)域的大小小于第二閾值的情況下，判定該子區(qū)域?yàn)槿毕輩^(qū)域。
24、在其中一個(gè)實(shí)施例中，分量圖像采集模塊還用于在所述第二高度信息超出第一閾值范圍的所述子區(qū)域的大小大于第三閾值的情況下，判定該子區(qū)域?yàn)樘卣鹘Y(jié)構(gòu)區(qū)域。
25、在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述采樣點(diǎn)聚類(lèi)模塊用于根據(jù)所述圖像檢測(cè)傳感器的成像范圍設(shè)定聚類(lèi)的高度區(qū)間。
26、相較于現(xiàn)有技術(shù)，本申請(qǐng)的基于多深度探高拍攝的面板檢測(cè)方法及裝置具有以下有益效果。
27、本發(fā)明的基于多深度探高拍攝的面板檢測(cè)方法在圖像檢測(cè)傳感器(即檢測(cè)探頭)的檢測(cè)視場(chǎng)范圍內(nèi)進(jìn)行了多個(gè)采樣點(diǎn)的高度采樣，并在該檢測(cè)視場(chǎng)范圍內(nèi)聚類(lèi)為多個(gè)高度的子區(qū)域。圖像檢測(cè)傳感器可僅在垂直面板表面的方向上移動(dòng)或調(diào)焦的情況下，拍攝多個(gè)子區(qū)域的分量圖像，然后根據(jù)分量圖像合并成整個(gè)檢測(cè)視場(chǎng)范圍的圖像。由于各分量圖像都是在圖像檢測(cè)傳感器的成像范圍內(nèi)拍攝的，因此合并后的整個(gè)檢測(cè)視場(chǎng)范圍的圖像在各個(gè)區(qū)域都是清晰的，從而保證了圖像檢測(cè)傳感器采集的圖像的清晰度，進(jìn)而提高了檢測(cè)準(zhǔn)確度。
1.一種基于多深度探高拍攝的面板檢測(cè)方法，其特征在于，包括：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于多深度探高拍攝的面板檢測(cè)方法，其特征在于，所述高度測(cè)量探頭為線型高度測(cè)量探頭。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于多深度探高拍攝的面板檢測(cè)方法，其特征在于，所述根據(jù)所述子區(qū)域各自對(duì)應(yīng)的第二高度信息依次沿所述圖像檢測(cè)傳感器的光軸方向移動(dòng)所述圖像檢測(cè)傳感器和/或調(diào)節(jié)所述圖像檢測(cè)傳感器的拍攝焦距包括：
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的基于多深度探高拍攝的面板檢測(cè)方法，其特征在于，所述排除掉第二高度信息超出第一閾值范圍的所述子區(qū)域包括：
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的基于多深度探高拍攝的面板檢測(cè)方法，其特征在于，所述排除掉第二高度信息超出第一閾值范圍的所述子區(qū)域包括：
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于多深度探高拍攝的面板檢測(cè)方法，其特征在于，所述將所述采樣點(diǎn)按照對(duì)應(yīng)的所述第一高度信息聚類(lèi)得到所述檢測(cè)視場(chǎng)范圍內(nèi)與高度分布相關(guān)的子區(qū)域包括：
7.一種基于多深度探高拍攝的面板檢測(cè)裝置，其特征在于，包括：
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的基于多深度探高拍攝的面板檢測(cè)裝置，其特征在于，所述高度測(cè)量探頭為線型高度測(cè)量探頭。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的基于多深度探高拍攝的面板檢測(cè)裝置，其特征在于，所述分量圖像采集模塊還用于排除掉第二高度信息超出第一閾值范圍的所述子區(qū)域。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的基于多深度探高拍攝的面板檢測(cè)裝置，其特征在于，所述分量圖像采集模塊還用于在所述第二高度信息超出第一閾值范圍的所述子區(qū)域的大小小于第二閾值的情況下，判定該子區(qū)域?yàn)槿毕輩^(qū)域。
11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的基于多深度探高拍攝的面板檢測(cè)裝置，其特征在于，所述分量圖像采集模塊還用于在所述第二高度信息超出第一閾值范圍的所述子區(qū)域的大小大于第三閾值的情況下，判定該子區(qū)域?yàn)樘卣鹘Y(jié)構(gòu)區(qū)域。
12.根據(jù)權(quán)利要求7所述的基于多深度探高拍攝的面板檢測(cè)裝置，其特征在于，所述采樣點(diǎn)聚類(lèi)模塊用于根據(jù)所述圖像檢測(cè)傳感器的成像范圍設(shè)定聚類(lèi)的高度區(qū)間。