本技術(shù)涉及氣體生產(chǎn)設(shè)備，尤其是一種用于超純氣體瓶的氣體充裝的裝置。
背景技術(shù)：
1、隨著我國經(jīng)濟高速發(fā)展，國內(nèi)對超純氣體的需求呈現(xiàn)逐年上升的趨勢，特別是冶金、化工、芯片等行業(yè)，對各種高純乃至超存氣體的需求量逐年增加，并且要求對氣體純度的要求極其嚴(yán)苛。
2、以我們現(xiàn)有一種氣瓶處理方法，在對氣瓶處理完畢后氣瓶內(nèi)所充裝的介質(zhì)只能達(dá)到高純，以氪氣，氙氣瓶充裝過后化驗數(shù)據(jù)為例，氪氣充裝完成后純度只能達(dá)到99.999%，氙氣充裝完畢后純度只能達(dá)到99.9995%，而裝置所生產(chǎn)的產(chǎn)品都為6n級別，而氣瓶充裝完成后氣瓶內(nèi)介質(zhì)均未能達(dá)到6n要求，即99.9999%以上的超高純度，一般稱為超純。
3、現(xiàn)有的一種氣瓶充裝裝置包括進氣管連接有過濾器后分成兩支進氣支管并各連接電磁閥一后連接多個氣瓶串聯(lián)的氣瓶組，兩支進氣支管于電磁閥一與氣瓶組之間均伸出排氣支管，兩支排氣支管各連接電磁閥二后合并成排氣管并連接氣體回收氣囊，兩支進氣支管于伸出排氣支管處各伸出回流支管，兩支回流支管各連接安全閥后合并連接到排氣管，兩支進氣支管于排氣支管與氣瓶組之間各伸出放空支管，兩支放空支管各連接電磁閥三后合并成放空管放空。這種裝置的主要處理方法是將氣體送入氣瓶內(nèi)并靜置數(shù)分鐘后放空回收，經(jīng)過多次充放過后來達(dá)到置換氣瓶的目的，這種方法對產(chǎn)品氣的消耗過大，導(dǎo)致產(chǎn)品裝置提取率過低，置換效果不穩(wěn)定，每一次進氣，氣量不穩(wěn)定，缺點也非常明顯，置換次數(shù)過多然而效果不佳，并且在對放氣的過程中無法對氣瓶內(nèi)壓力做到有效的檢測，只能通過氣流聲來判斷氣瓶內(nèi)余壓，把握不好有可能會造成氣瓶內(nèi)進入空氣的可能性，導(dǎo)致處理失敗。因此，針對這種處理操作和處理流程進行了重新設(shè)計和改造，發(fā)明出一種超純氣瓶置換方法和操作。
技術(shù)實現(xiàn)思路
1、本實用新型所要解決的問題是提供一種超純氣體瓶氣體充裝裝置，以解決現(xiàn)有超純氣體瓶氣體充裝裝置充裝消耗大，置換次數(shù)多，置換效果不佳的問題。
2、為了解決上述問題，本實用新型的技術(shù)方案是：本超純氣體瓶氣體充裝裝置包括進氣管連接有過濾器后分成兩支進氣支管并各連接電磁閥一后連接多個氣瓶串聯(lián)的氣瓶組，兩支所述進氣支管于所述電磁閥一與所述氣瓶組之間均伸出排氣支管，兩支所述排氣支管各連接電磁閥二后合并成排氣管并連接氣體回收氣囊，兩支所述進氣支管于伸出所述排氣支管處各伸出回流支管，兩支所述回流支管各連接安全閥后合并連接到所述排氣管，兩支所述進氣支管于所述排氣支管與所述氣瓶組之間各伸出放空支管，兩支所述放空支管各連接電磁閥三后合并成放空管放空；兩支所述進氣支管于所述排氣支管和所述放空支管之間各伸出氮氣進氣支管，兩支所述氮氣進氣支管各連接電磁閥四后合并成氮氣進氣管進氮氣，所述進氣支管于各自的所述電磁閥三和所述氣瓶組之間各伸出真空支管，兩支所述真空支管各連接電磁閥五后合并成真空管連接真空泵組。
3、上述技術(shù)方案中，更為具體的方案可以是：所述真空泵組包括電磁閥六和至少兩臺真空泵依次串聯(lián)。
4、進一步的：所述真空管于其分支處與所述真空泵組之間設(shè)有安全閥。
5、進一步的：所述氮氣進氣管上設(shè)有過濾器。
6、進一步的：兩支所述進氣支管于所述電磁閥三和所述電磁閥四之間設(shè)有壓力變送器及壓力指示器，所述真空泵組串聯(lián)有壓力變送器及壓力指示器。
7、進一步的：所述電磁閥一、所述電磁閥二、所述電磁閥三、所述電磁閥四、所述電磁閥五、所述電磁閥六、所有所述安全閥、所有所述壓力變送器及壓力指示器和所述真空泵組均連接一壓力控制單元。
8、進一步的：所述壓力控制單元為分散控制系統(tǒng)。
9、由于采用了上述技術(shù)方案，本實用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比具有如下有益效果：
10、本超純氣體瓶氣體充裝裝置采用真空泵組對氣瓶進行抽真空處理，并對氣瓶處理流程進行優(yōu)化，在充瓶排連接的管道上分別設(shè)置壓力測點以及相應(yīng)的電磁閥、并增加中壓氮氣管道對氣瓶接口處進行查漏，所有壓力信號均傳送至現(xiàn)有的充瓶裝置dcs進行遠(yuǎn)程監(jiān)控；使用時，打開中壓氮氣閥（即電磁閥四）對瓶嘴進行查漏，確認(rèn)瓶口及管道無泄漏，打開泄壓閥（即電磁閥三）和瓶閥對氣瓶組進行卸壓，直至壓力pi3003低于0.02mpa，完成后關(guān)閉泄壓閥；打開抽真空電磁閥（即電磁閥五）啟動真空泵組對氣瓶進行抽真空，直至壓力低于2×10-4并壓力穩(wěn)定，完成后關(guān)閉抽真空電磁閥和停止真空泵組，打開充裝電磁閥（即電磁閥一）對氣瓶進行充裝。
11、使用本超純氣體瓶氣體充裝裝置，解決氣瓶置換次數(shù)過多，對產(chǎn)品消耗過多，使用本操作方法后氣瓶無需使用產(chǎn)品氣進行置換處理，充裝過后產(chǎn)品即可達(dá)到6n級別。氣瓶處理效率得到了大幅度的提高，氣瓶處理能力由每次一瓶提升至每次8瓶。解決因無有效檢測手段造成氣瓶需二次處理的概率。本處理裝置和方法具備安裝簡便、穩(wěn)定可靠、高效便捷的特點。
1.一種超純氣體瓶氣體充裝裝置，包括進氣管連接有過濾器后分成兩支進氣支管并各連接電磁閥一后連接多個氣瓶串聯(lián)的氣瓶組，兩支所述進氣支管于所述電磁閥一與所述氣瓶組之間均伸出排氣支管，兩支所述排氣支管各連接電磁閥二后合并成排氣管并連接氣體回收氣囊，兩支所述進氣支管于伸出所述排氣支管處各伸出回流支管，兩支所述回流支管各連接安全閥后合并連接到所述排氣管，兩支所述進氣支管于所述排氣支管與所述氣瓶組之間各伸出放空支管，兩支所述放空支管各連接電磁閥三后合并成放空管放空；其特征在于：兩支所述進氣支管于所述排氣支管和所述放空支管之間各伸出氮氣進氣支管，兩支所述氮氣進氣支管各連接電磁閥四后合并成氮氣進氣管進氮氣，所述進氣支管于各自的所述電磁閥三和所述氣瓶組之間各伸出真空支管，兩支所述真空支管各連接電磁閥五后合并成真空管連接真空泵組。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超純氣體瓶氣體充裝裝置，其特征在于：所述真空泵組包括電磁閥六和至少兩臺真空泵依次串聯(lián)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的超純氣體瓶氣體充裝裝置，其特征在于：所述真空管于其分支處與所述真空泵組之間設(shè)有安全閥。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的超純氣體瓶氣體充裝裝置，其特征在于：所述氮氣進氣管上設(shè)有過濾器。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的超純氣體瓶氣體充裝裝置，其特征在于：兩支所述進氣支管于所述電磁閥三和所述電磁閥四之間設(shè)有壓力變送器及壓力指示器，所述真空泵組串聯(lián)有壓力變送器及壓力指示器。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的超純氣體瓶氣體充裝裝置，其特征在于：所述電磁閥一、所述電磁閥二、所述電磁閥三、所述電磁閥四、所述電磁閥五、所述電磁閥六、所有所述安全閥、所有所述壓力變送器及壓力指示器和所述真空泵組均連接一壓力控制單元。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的超純氣體瓶氣體充裝裝置，其特征在于：所述壓力控制單元為分散控制系統(tǒng)。