本發(fā)明涉及蒸鍍設(shè)備領(lǐng)域，具體地，涉及一種蒸發(fā)組件和一種包括該蒸發(fā)組件的蒸鍍設(shè)備。

背景技術(shù)：

1、在真空蒸鍍設(shè)備制造技術(shù)領(lǐng)域，蒸發(fā)源是蒸鍍設(shè)備的核心之一，其主要功能是將原材料蒸發(fā)，使原材料的蒸汽與基板接觸，并以薄膜的形式沉積在基板上。

2、在不同的沉積工藝中，蒸發(fā)源與基板之間的距離以及蒸發(fā)源與基板之間的相對角度均存在不同的最佳取值。為便于改變蒸發(fā)源與基板之間的距離及角度，以適應(yīng)不同工藝類型的要求，現(xiàn)有的技術(shù)方案主要是將蒸發(fā)源獨(dú)立出來，將蒸發(fā)源與不同形式的腔體組合作為工藝腔室外部的可替換模塊，即，通過將蒸發(fā)源與不同腔體結(jié)合的形式得到不同規(guī)格的蒸發(fā)模塊，并通過替換蒸發(fā)模塊來改變當(dāng)前蒸鍍設(shè)備中蒸發(fā)源到基板距離及相對角度。

3、然而，現(xiàn)有的更換蒸發(fā)模塊的方案雖然可以在一定程度上實(shí)現(xiàn)靈活調(diào)節(jié)蒸發(fā)源的位置，但通常需要進(jìn)行復(fù)雜的人工操作來裝卸替換蒸發(fā)模塊，導(dǎo)致蒸發(fā)源調(diào)節(jié)過程效率低下、人工成本高；且不同規(guī)格的蒸發(fā)模塊需要不同形狀尺寸的腔體，對于工藝種類豐富的蒸鍍設(shè)備，其蒸發(fā)模塊的腔體種類繁多，導(dǎo)致蒸鍍設(shè)備的制造成本大、倉儲管理困難；并且，人工裝卸蒸發(fā)模塊容易受到人為因素影響，導(dǎo)致蒸發(fā)模塊穩(wěn)定性差，進(jìn)而影響工藝一致性；此外，由于不同工藝腔室在制造時(shí)也存在無法避免的工藝誤差，導(dǎo)致同一蒸發(fā)模塊應(yīng)用于不同工藝腔室時(shí)也會出現(xiàn)一致性差的問題。

4、因此，如何提供一種操作便捷、穩(wěn)定性好的蒸發(fā)源位置調(diào)節(jié)方案，成為本領(lǐng)域亟待解決的技術(shù)問題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本發(fā)明旨在一定程度上解決相關(guān)技術(shù)中的技術(shù)問題之一。為此，本發(fā)明提供了一種蒸發(fā)組件和一種包括該蒸發(fā)組件的蒸鍍設(shè)備，該蒸發(fā)組件可通過改變調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)連接于活動座與固定座之間部分的長度的方式，來調(diào)節(jié)蒸發(fā)源與基座之間的距離及角度，使單個(gè)蒸發(fā)組件可以應(yīng)用于多種不同的蒸鍍工藝。

2、為實(shí)現(xiàn)上述目的，作為本發(fā)明的一個(gè)方面，提供一種蒸發(fā)組件，包括固定座、柔性連接管、活動座和蒸發(fā)源，所述固定座用于與工藝腔室固定連接，且所述固定座具有用于與工藝腔室內(nèi)部連通的第一連通孔，所述活動座具有第二連通孔，所述第二連通孔的第一端與所述蒸發(fā)源連接，所述第二連通孔的第二端通過所述柔性連接管與所述第一連通孔連通，所述蒸發(fā)組件還包括多個(gè)調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)，多個(gè)所述調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)分布于所述柔性連接管的外側(cè)，且所述調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)的第一連接端和第二連接端分別與所述活動座與所述固定座連接，所述調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)能夠響應(yīng)于伸縮調(diào)節(jié)信號調(diào)節(jié)其第一連接端與第二連接端之間的距離，以改變所述蒸發(fā)源與所述固定座之間的距離及角度。

3、可選地，所述蒸發(fā)組件還包括多個(gè)腔室固定螺釘，所述固定座中形成有多個(gè)腔室固定通孔，多個(gè)所述腔室固定螺釘?shù)尼敆U一一對應(yīng)地穿過多個(gè)腔室固定通孔，且多個(gè)所述腔室固定螺釘用于旋入工藝腔室外壁上的螺紋孔中，以將所述蒸發(fā)組件固定在所述工藝腔室上。

4、可選地，所述活動座上具有多個(gè)第一安裝通孔，多個(gè)所述第一安裝通孔繞所述活動座的第二連通孔分布，所述蒸發(fā)源具有安裝法蘭，所述安裝法蘭上具有多個(gè)第二安裝通孔，所述安裝法蘭與所述活動座疊設(shè)，且通過一一對應(yīng)地依次穿過多個(gè)所述第一安裝通孔以及多個(gè)所述第二安裝通孔的安裝緊固件與所述活動座固定連接。

5、可選地，所述安裝緊固件為螺栓。

6、可選地，所述調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)包括旋轉(zhuǎn)驅(qū)動結(jié)構(gòu)、絲桿、螺紋配合件和萬向節(jié)，所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動結(jié)構(gòu)與所述絲桿的第一端連接，所述絲桿的第二端與所述萬向節(jié)的第一端連接，所述萬向節(jié)的第二端形成為所述調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)的第二連接端，所述螺紋配合件套設(shè)于所述絲桿上并形成為所述調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)的第一連接端；

7、所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動結(jié)構(gòu)能夠響應(yīng)于所述伸縮調(diào)節(jié)信號，改變所述絲桿繞自身軸線的轉(zhuǎn)動角度，以調(diào)節(jié)所述第一連接端與所述第二連接端之間的距離。

8、可選地，所述調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)還包括伸縮連接件，所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動結(jié)構(gòu)包括旋轉(zhuǎn)電機(jī)和電機(jī)固定座，所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)通過所述電機(jī)固定座與所述活動座固定連接，所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)的輸出軸通過所述伸縮連接件與所述絲桿的第一端連接，所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)的輸出軸能夠通過所述伸縮連接件帶動所述絲桿轉(zhuǎn)動，且所述絲桿的第一端能夠沿其軸線方向相對于所述伸縮連接件滑動。

9、可選地，所述蒸發(fā)組件包括兩組所述調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)，兩組所述調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)分別位于所述柔性連接管沿第一方向的兩側(cè)。

10、可選地，所述蒸發(fā)組件包括兩對所述調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)，兩對所述調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)分別位于所述柔性連接管沿第一方向的兩側(cè)，且每對所述調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)沿第二方向分布，所述第二方向與所述第一方向相交。

11、可選地，所述活動座為矩形板或圓角矩形板，多個(gè)所述調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)的位置分別與所述活動座的四角對應(yīng)。

12、可選地，多個(gè)所述調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)包括至少一個(gè)第一調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)和至少一個(gè)第二調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)，所述第一調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)包括第一伸縮裝置、第一鉸接件和第二鉸接件，所述第一鉸接件固定設(shè)置在所述活動座上并形成為所述第一調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)的第一連接端，所述第二鉸接件固定設(shè)置在所述固定座上并形成為所述第一調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)的第二連接端，所述第一伸縮裝置的長度可調(diào)，且所述第一伸縮裝置的兩端分別與所述第一鉸接件及所述第二鉸接件鉸接；

13、所述第二調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)包括第二伸縮裝置和第三鉸接座，所述第三鉸接座固定設(shè)置在所述活動座上并形成為所述第二調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)的第一連接端，所述第二伸縮裝置的一端與所述固定座固定連接并形成為所述第二調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)的第二連接端，所述第二伸縮裝置的另一端與所述第三鉸接座鉸接。

14、可選地，所述蒸發(fā)組件還包括多個(gè)定位結(jié)構(gòu)，所述定位結(jié)構(gòu)包括刻度桿和導(dǎo)向座，所述導(dǎo)向座固定設(shè)置在所述活動座上，且所述導(dǎo)向座中具有避讓通孔，所述刻度桿的一端與所述固定座固定連接，所述刻度桿的另一端穿過所述避讓通孔，所述刻度桿的表面上具有沿所述刻度桿的長度方向間隔分布的刻度結(jié)構(gòu)。

15、可選地，所述刻度桿包括沿其軸向依次連接的螺紋段和配合段，所述固定座上具有多個(gè)定位螺紋孔，多個(gè)所述刻度桿的所述螺紋段一一對應(yīng)地旋入多個(gè)所述定位螺紋孔中，所述刻度結(jié)構(gòu)位于所述配合段上。

16、可選地，所述刻度結(jié)構(gòu)為形成于所述刻度桿表面上的環(huán)繞所述刻度桿軸線延伸的環(huán)形凹槽。

17、可選地，所述刻度結(jié)構(gòu)為形成于所述刻度桿表面上的環(huán)繞所述刻度桿軸線延伸的環(huán)形凸起。

18、可選地，所述蒸發(fā)組件包括兩組所述調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)，兩組所述調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)分別位于所述柔性連接管沿第一方向的兩側(cè)，所述避讓通孔的橫截面沿所述第一方向延伸。

19、可選地，多個(gè)所述定位結(jié)構(gòu)的位置與多個(gè)所述調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)的位置一一對應(yīng)。

20、作為本發(fā)明的第二個(gè)方面，提供一種蒸鍍設(shè)備，所述蒸鍍設(shè)備包括工藝腔室、基座、控制裝置和多個(gè)本發(fā)明實(shí)施例提供的蒸發(fā)組件，所述基座設(shè)置于所述工藝腔室中，所述工藝腔室的外壁上具有多個(gè)蒸發(fā)通孔，所述基座設(shè)置于所述工藝腔室中，且所述基座的位置與所述蒸發(fā)通孔的位置對應(yīng)，所述蒸發(fā)組件的固定座與所述工藝腔室固定連接，且多個(gè)所述固定座的第一連通孔分別與多個(gè)所述蒸發(fā)通孔連通，所述控制裝置用于向多個(gè)所述蒸發(fā)組件的調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)發(fā)送伸縮調(diào)節(jié)信號，以使每個(gè)所述調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)調(diào)節(jié)其第一連接端與第二連接端之間的距離。

21、可選地，所述工藝腔室的外壁上具有多個(gè)螺紋孔，所述蒸發(fā)組件還包括多個(gè)腔室固定螺釘，所述固定座中形成有多個(gè)腔室固定通孔，多個(gè)所述腔室固定螺釘?shù)尼敆U一一對應(yīng)地穿過多個(gè)腔室固定通孔并旋入多個(gè)所述螺紋孔中，以將所述蒸發(fā)組件固定在所述工藝腔室上。

22、可選地，所述工藝腔室包括腔室上殼和腔室底座，所述腔室底座封閉所述腔室上殼的底部開口，所述腔室底座的底面包括中央平板以及沿第一水平方向設(shè)置于所述中央平板兩側(cè)的連通斜板，所述連通斜板上各處高度沿背離所述中央平板方向逐漸升高，所述連通斜板上開設(shè)有多個(gè)所述蒸發(fā)通孔，多個(gè)所述蒸發(fā)通孔沿第二水平方向間隔設(shè)置，所述第二水平方向與所述第一水平方向相交。

23、在本發(fā)明提供的蒸發(fā)組件和蒸鍍設(shè)備中，固定座用于與工藝腔室固定連接，蒸發(fā)源設(shè)置在活動座上，且固定座與活動座通過柔性連接管連通，固定座與活動座之間設(shè)置有多個(gè)調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)，且調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)能夠在收到伸縮調(diào)節(jié)信號時(shí)，根據(jù)信號調(diào)節(jié)自身兩端之間的長度，從而在工藝需求發(fā)生改變時(shí)，可以通過控制多個(gè)調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)調(diào)節(jié)自身長度的方式，快速改變固定座與活動座之間的距離，進(jìn)而改變蒸發(fā)源與工藝腔室中的基座之間的距離，還可以通過將部分調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)兩端之間的長度調(diào)節(jié)至與其他調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)不同的方式，改變固定座與活動座之間的角度，從而改變蒸發(fā)源與基座之間的角度，在調(diào)節(jié)過程中柔性連接管可始終保證蒸發(fā)源與工藝腔室穩(wěn)定連接；

24、本發(fā)明提供的蒸發(fā)組件可通過改變調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)連接于活動座與固定座之間部分的長度的方式，實(shí)現(xiàn)自動調(diào)節(jié)蒸發(fā)源與基座之間的距離及角度，從而提高了蒸發(fā)組件的靈活性及便捷性，使蒸發(fā)組件可以應(yīng)用于多種不同的蒸鍍工藝，無需針對多種工藝制造及存儲多種不同型號的蒸發(fā)模組，降低了蒸鍍設(shè)備的制造成本和倉儲管理成本。同時(shí)，本發(fā)明方案僅需向多個(gè)調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)發(fā)出伸縮調(diào)節(jié)信號即可調(diào)節(jié)蒸發(fā)源與腔室內(nèi)基座之間的距離及角度，能夠減少人工裝卸蒸發(fā)源所消耗的時(shí)間，降低人工成本并提高生產(chǎn)效率。此外，本發(fā)明提供的蒸發(fā)組件無需頻繁拆裝，能夠有效降低人工拆裝蒸發(fā)源產(chǎn)生的位置偏差，保證蒸發(fā)組件位置的穩(wěn)定性，進(jìn)而保證工藝一致性。

25、進(jìn)一步地，蒸鍍設(shè)備的工藝腔室外壁上設(shè)置有多個(gè)蒸發(fā)組件，在進(jìn)行蒸鍍工藝時(shí)，由多個(gè)蒸發(fā)組件共同向工藝腔室中提供鍍膜氣體，多個(gè)蒸發(fā)組件的蒸發(fā)源400可以是不同材料類型的蒸發(fā)源400，即在一步蒸鍍工藝中，同時(shí)向基座上的基板表面沉積多種不同材料，得到多種物質(zhì)混合形成的膜層，且多個(gè)蒸發(fā)源400與基板之間的位置及角度均可根據(jù)伸縮調(diào)節(jié)信號獨(dú)立靈活調(diào)節(jié)，從而保證膜層中各類物質(zhì)含量的均勻性，進(jìn)一步保證蒸鍍工藝的產(chǎn)品質(zhì)量。